研究設備


顕微鏡



球面収差補正走査透過型電子顕微鏡(Cs-corrected STEM)

日本電子社製JEM-2100F。球面収差補正装置を搭載し、原子分解能での観察・分析に強い。通常のHAADF像に加え、軽元素を直接観察できるABF、EDSによる組成分析、EELSによる電子状態の解析、反射電子像観察などを行うことができる。多分割検出器を備え、原子レベルでの誘電体ドメイン観察などにも応用されている。



電界放出型高分解能透過型分析電子顕微鏡

TOPCONテクノハウス社製EM-002BF。電界放出型電子銃と高性能なポールピースを備え、2基のEDSを搭載していることから局所領域における組成分析に強い。その他、高分解能像観察、明視野像観察、暗視野像観察、局所電子線回折、収束電子線回折、EELSによる電子状態解析などを行うことができる。



汎用透過型電子顕微鏡

日本電子社製JEM-2010HC。ハイコントラスト型ポールピースを備え、高傾斜、高コントラスト観察に強い。明視野像観察、暗視野像観察を行うことができる。また、インデンテーションホルダーを用いてその場ナノインデンテーションを行うことができる。



環境制御走査プローブ顕微鏡

日本電子社製JSPM-5200。各種オプションを搭載し、大気中、真空中、ガス雰囲気中、室温、高温でのその場観察を行うことができる。拡張性が高く、外部制御による測定も行うことができる。表面形状の観察に加えて局所領域における電気物性、磁気物性、誘電物性の測定に用いられている。



走査型電子方位像顕微鏡

日本電子社製JSM-5310。方位像検出器を搭載した走査型電子顕微鏡(SEM)。多結晶における方位分布などを得ることができる。



偏光顕微鏡1

純正のCCDユニットを搭載し、各種偏光観察を行うことができる光学顕微鏡。主にTEM試料作製時に使用される。



偏光顕微鏡2

一眼レフタイプのカメラを記録用に使用している偏光顕微鏡。TEM試料作製時に使用される。



実体顕微鏡各種

研究室各所に設置されている実体顕微鏡。試料の確認をはじめとして様々な目的で使用されている。





試料作製



双結晶接合炉

材料中には多数かつ多様な結晶界面が含まれているが、これらのうちでどのような界面が材料特性に大きな影響をおよぼすのかを調べるため、1つの粒界だけを選択的に作製したい。このような目的から、角度を制御した2つの結晶を接合し、界面を作製するバイクリスタル法が当研究室でよく用いられている。そのバイクリスタルを作製するための電気炉。



高温圧縮試験機

試料を加熱しながら圧縮試験を行うことができる。高温クリープ特性などの評価に使用。試験後の試料をTEM観察することで、高温クリープの機構などを解明することができる。



高温真空・雰囲気炉

真空や各種ガス雰囲気下での熱処理を行うことができる。構造の雰囲気依存性などを観察するために使用。



クエンチ炉

真空や各種ガス雰囲気下で焼結を行い、高温のまま油中に落下させることで、クエンチを行うことができる電気炉。焼結時の状態を凍結してTEMによる観察を行うことで、焼結機構を解明することができる。



拡散炉

トレーサーを試料中に拡散させるための電気炉。SIMSなどを用いたトレーサー分布測定により拡散機構を解明することができる。



電気炉群

各種焼結、熱処理用の電気炉。自作のものが多い。



プラズマ エッチング コーティング システム(PECS)

超高真空蒸着装置

超高真空中で単原子レベルでコントロールした蒸着を行うことが出来る装置。各種試料表面におけるクラスター形成機構や触媒機能のメカニズム解明を目的とした研究に用いる。





TEM試料作製



大型切断機

大きな試料や固い試料を切断するための装置。大型の刃が1分あたり数千回転する。当研究室において、操作を誤ると命に関わる数少ない装置の1つ。



低速精密切断機

通常の試料切断に用いられる。薄いサンプルの切り出しなど、細かな作業を行うことができる。



超音波切断機

試料を円筒状や四角柱状に打ちぬくことが出来る装置。試料をTEM観察できる形状に加工したい場合に用いる。



スラリー滴下式機械研磨機

ダイヤモンドスラリー等のスラリーを用いて試料を研磨できる装置。ある程度の薄片化と鏡面だしを行う。



くさび形研磨装置

試料をくさび形に研磨することで、そのままTEM観察可能な試料を作成できる装置。電子状態解析をする場合など、イオン研磨によるダメージが問題となる場合に用いる。



トライポッド式研磨装置

トライポッド方式でのくさび形研磨を行うことができる装置。



ディンプルグラインダー

試料に球面状の窪みをつけることが出来る装置。



精密イオン研磨機(PIPS)

試料をイオン研磨により薄片化することが出来る装置。



低加速イオン研磨機

低加速で仕上げイオン研磨を行うことが出来る装置。



低角イオン研磨機

低入射角、低加速で仕上げイオン研磨を行うことが出来る装置。



イオンスライサー

ある程度厚みのある試料を、TEM観察できるレベルにまで一台で薄片化出来る装置。



真空蒸着機

試料に導電性カーボンを蒸着するなどの目的で用いられる、通常の蒸着機。ロータリー、ディフュージョン各1台の標準的な構成。



プラズマクリーナー

プラズマにより試料についた微細なゴミやアモルファスなどを取り除くことが出来る装置。



イオンクリーナー

イオンにより試料についた微細なゴミなどを取り除くことが出来る装置。帯電しやすいゴミなどに効く。



ホットプレート

熱で溶ける樹脂を用いた接着や、熱硬化型樹脂による接着などに用いる。



超音波洗浄機

試料の洗浄などに用いる。





計算機



並列処理型高速計算機

第一原理計算をはじめとする各種理論計算に用いられる。自作のPCを並列化している。



個人用電子計算機

通称パソコン。事務仕事用に一人一台のデスクトップパソコンが割り当てられる。並列化されていない計算が行われることも。





物性測定

4探針プローバー

TXA接続の4探針プローバー。IV特性などの測定に用いられる。



ワイヤーボンダー

物性評価システムなどで物性の測定を行うため、配線と電極との接合を行うための装置。



インピーダンスアナライザー

コールコールプロットの取得などに用いられる。



半導体パラメータアナライザー

プローバーに接続し、各種電気特性評価に用いる。



20:58 2013/01/26