研究設備


電子顕微鏡



MARS

ARM
2100F
002bf



 
  

集束イオンビーム装置








 
       

その他の電子顕微鏡






    

その他の装置

 

CypherES 環境制御 AFM/SPM 原子間力顕微鏡


表面高さ像に加え,PFM, MFM, ESMなどの表面物性の計測が可能.
STMモードも搭載している.


超高真空蒸着装置


超高真空中で単原子レベルでコントロールした蒸着を行うことが出来る装置。各種試料表面におけるクラスター形成機構や触媒機能のメカニズム解明を目的とした研究に用いる。






真空・雰囲気炉


真空あるいはガス雰囲気下での熱処理を行う.
質量分析器を用いることで,生成ガスの成分分析も可能.



ディンプルグラインダーⅡ Model657


試料の中心部分を5~10μm程度の薄さにまで磨出す装置



PIPS II


精密なセンタリング、制御、再現性を実現する高精度イオン研磨装置。



PECS II


試料の研磨およびコーティング用ブロードアルゴンイオンビームシステム



Model 1051 TEM Mill


TEM用イオンミリング装置





インピーダンスアナライザー


コールコールプロットの取得などに用いられる。


プローバー


薄膜など微小領域におけるインピーダンス測定に用いられる。




真空蒸着装置


試料に導電性カーボンを蒸着するなどの目的で用いられる、通常の蒸着機。ロータリー、ディフュージョン各1台の標準的な構成。




  

環境制御走査プローブ顕微鏡


日本電子社製JSPM-5200。各種オプションを搭載し、大気中、真空中、ガス雰囲気中、室温、高温でのその場観察を行うことができる。拡張性が高く、外部制御による測定も行うことができる。表面形状の観察に加えて局所領域における電気物性、磁気物性、誘電物性の測定に用いられている。


環境制御双結晶接合炉


各種ガス雰囲気を制御しながら、バイクリスタルを作製することができる電気炉




プラズマ エッチング コーティング システム(PECS)

インピーダンス測定用高温炉


高温インピーダンス測定に用いられる。




偏光顕微鏡1


純正のCCDユニットを搭載し、各種偏光観察を行うことができる光学顕微鏡。主にTEM試料作製時に使用される。





偏光顕微鏡2


一眼レフタイプのカメラを記録用に使用している偏光顕微鏡。TEM試料作製時に使用される。


実体顕微鏡各種


研究室各所に設置されている実体顕微鏡。試料の確認をはじめとして様々な目的で使用されている。







高温真空・雰囲気炉


真空や各種ガス雰囲気下での熱処理を行うことができる。構造の雰囲気依存性などを観察するために使用。




拡散炉


トレーサーを試料中に拡散させるための電気炉。SIMSなどを用いたトレーサー分布測定により拡散機構を解明することができる。




低速精密切断機


通常の試料切断に用いられる。薄いサンプルの切り出しなど、細かな作業を行うことができる。




超音波切断機


試料を円筒状や四角柱状に打ちぬくことが出来る装置。試料をTEM観察できる形状に加工したい場合に用いる。




スラリー滴下式機械研磨機


ダイヤモンドスラリー等のスラリーを用いて試料を研磨できる装置。ある程度の薄片化と鏡面だしを行う。




くさび形研磨装置


試料をくさび形に研磨することで、そのままTEM観察可能な試料を作成できる装置。電子状態解析をする場合など、イオン研磨によるダメージが問題となる場合に用いる。




トライポッド式研磨装置


トライポッド方式でのくさび形研磨を行うことができる装置。




ディンプルグラインダー


試料に球面状の窪みをつけることが出来る装置。




精密イオン研磨機(PIPS)


試料をイオン研磨により薄片化することが出来る装置。




低角イオン研磨機


低入射角、低加速で仕上げイオン研磨を行うことが出来る装置。




イオンスライサー


ある程度厚みのある試料を、TEM観察できるレベルにまで一台で薄片化出来る装置。




ホットプレート


熱で溶ける樹脂を用いた接着や、熱硬化型樹脂による接着などに用いる。




超音波洗浄器


試料の洗浄などに用いる。




ワイヤーボンダー


物性評価システムなどで物性の測定を行うため、配線と電極との接合を行うための装置。


半導体パラメータアナライザー

プローバーに接続し、各種電気特性評価に用いる。




  

計算機



並列処理型高速計算機


第一原理計算をはじめとする各種理論計算に用いられる。自作のPCを並列化している。


  

個人用電子計算機

通称パソコン。事務仕事用に一人一台のデスクトップパソコンが割り当てられる。並列化されていない計算が行われることも。