東京大学 工学系研究科 総合研究機構

表面高さ像に加え，PFM, MFM, ESMなどの表面物性の計測が可能．
STMモードも搭載している．

超高真空中で単原子レベルでコントロールした蒸着を行うことが出来る装置。各種試料表面におけるクラスター形成機構や触媒機能のメカニズム解明を目的とした研究に用いる。

真空あるいはガス雰囲気下での熱処理を行う．
質量分析器を用いることで，生成ガスの成分分析も可能．

精密なセンタリング、制御、再現性を実現する高精度イオン研磨装置。

試料の研磨およびコーティング用ブロードアルゴンイオンビームシステム

ＴＥＭ用イオンミリング装置

コールコールプロットの取得などに用いられる。

薄膜など微小領域におけるインピーダンス測定に用いられる。

試料に導電性カーボンを蒸着するなどの目的で用いられる、通常の蒸着機。ロータリー、ディフュージョン各1台の標準的な構成。

日本電子社製JSPM-5200。各種オプションを搭載し、大気中、真空中、ガス雰囲気中、室温、高温でのその場観察を行うことができる。拡張性が高く、外部制御による測定も行うことができる。表面形状の観察に加えて局所領域における電気物性、磁気物性、誘電物性の測定に用いられている。

各種ガス雰囲気を制御しながら、バイクリスタルを作製することができる電気炉

高温インピーダンス測定に用いられる。

純正のCCDユニットを搭載し、各種偏光観察を行うことができる光学顕微鏡。主にTEM試料作製時に使用される。

一眼レフタイプのカメラを記録用に使用している偏光顕微鏡。TEM試料作製時に使用される。

真空や各種ガス雰囲気下での熱処理を行うことができる。構造の雰囲気依存性などを観察するために使用。

トレーサーを試料中に拡散させるための電気炉。SIMSなどを用いたトレーサー分布測定により拡散機構を解明することができる。

通常の試料切断に用いられる。薄いサンプルの切り出しなど、細かな作業を行うことができる。

試料を円筒状や四角柱状に打ちぬくことが出来る装置。試料をTEM観察できる形状に加工したい場合に用いる。

ダイヤモンドスラリー等のスラリーを用いて試料を研磨できる装置。ある程度の薄片化と鏡面だしを行う。

試料をくさび形に研磨することで、そのままTEM観察可能な試料を作成できる装置。電子状態解析をする場合など、イオン研磨によるダメージが問題となる場合に用いる。

トライポッド方式でのくさび形研磨を行うことができる装置。

試料をイオン研磨により薄片化することが出来る装置。

低入射角、低加速で仕上げイオン研磨を行うことが出来る装置。

ある程度厚みのある試料を、TEM観察できるレベルにまで一台で薄片化出来る装置。

熱で溶ける樹脂を用いた接着や、熱硬化型樹脂による接着などに用いる。

試料の洗浄などに用いる。

物性評価システムなどで物性の測定を行うため、配線と電極との接合を行うための装置。

プローバーに接続し、各種電気特性評価に用いる。

第一原理計算をはじめとする各種理論計算に用いられる。自作のPCを並列化している。

通称パソコン。事務仕事用に一人一台のデスクトップパソコンが割り当てられる。並列化されていない計算が行われることも。